中文名称 超高分辨冷场发射扫描电镜

英文名称 Ultra-high Resolution Scanning Electron Microscopy

英文简称

资产仪器编号 TY2019000104

技术指标 1、二次电子分辨率：≥1.0nm (加速电压15kV)、≥2.0nm (加速电压1kV)、≥1.3nm (照射电压1kV，使用减速装置)。 2、加速电压：0.1-30 kV，放大倍数：20-80万倍(底片模式)、60-200万倍(显示器模式)。 3、电子枪：冷场发射电子枪；电子束流：≥1 pA，且连续可变。 4、对中：自动；聚焦：自动聚焦、带有手动聚焦；像散：自动，带有手动控制调节。 5、物镜光栏：内外加热自清洁式，四孔，可移动物镜光栏。 6、样品台：5轴自动马达驱动，样品最大尺寸：≤100 mm。 7、数字图像记录系统：TV扫描(640*480 pixel显示，25/30祯/s)，快速扫描(全屏显

规格 Regulus 8100

型号

制造商 日本日立集团

可对外开放时间

原值 324.0

产地 日本

检测项目 SEM观察，EDS能谱元素分析，EDS面扫元素分布Mapping

送样检测费

预约费用

购买年份

校准项目

检定校准机构

自检/校准规范名称

自检/校准规范编号

工作状态

仪器负责人 鞠鹏

仪器负责人联系方式 15953265267  jupeng@fio.org.cn

安放地点 山东省青岛市崂山区仙霞岭路6号

所在实验室 0

功能 主要用于材料、微塑料、生物样品的微观表面观察与成份分析。还可以对一些容易受电子束损伤的样品和导电性非常差的样品可以在低加速电压和进行直接观察。

应用范围 化学,生物学,环境科学技术及资源科学技术

主要附件

收费标准

检测说明 1、该仪器由专人负责管理操作，如需使用请提前预约，使用时应严格按要求登记，未经允许不得擅自操作；使用过程中应严格按照操作规程来对仪器进行操作，出现任何异常问题请与工程师沟通，并及时告知联系人，严禁擅自处理、拆卸仪器。 2、在放样品台或换样品台之前，用比高器测量高度，防止样品台过高而触碰到探测器。 3、测试时需告知测试人员样品性质以及测试条件等参数，数据一律用光盘拷贝，未经允许严禁擅自使用U盘或移动硬盘等拷贝数据。 4、实验室有洁净要求，测试人员进入实验室需换衣服换鞋，应穿实验服、鞋套，避免造成实验室污染

备注

图片

预约开放 开放

送样开放 开放

故障期间开放预约 不开放

个人预约限制 91

课题组预约限制 91

上机取消 0

院内闲时 0.00

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校内忙时 0.00

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院内送样_闲时 0.00

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培训注意事项

培训申请提醒